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| 전구체 기화상수 계산 및 측정 MER(Mass Evaporation Rate) Calculation & Measuring | |||||
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| 관리자 (IP: *.241.17.234) : 작성일 : 2017-11-21 14:24 조회수 : 11,549 | |||||
전구체 기화상수 계산 및 측정 MER(Mass Evaporation Rate) Calculation & Measuring
전구체의 기화공급시스템을 설계하기 위하여 가장 기본적인 데이터는 증기압곡선(Vapor Pressure curve)입니다. 증기압곡선은 닫힌계(Closed System)에서 포화증기(Saturated Vapor Pressure) 조건을 측정한 값입니다. 그러나 실제 액체 전구체를 원료로 사용하는 ALD/CVD 공정은 열린계(Opened System)에서 불포화증기(Unsaturated Vapor Pressure)를 사용합니다. 따라서 실제 공정에 사용되는 전구체 기화공급시스템을 설계하기 위해서는 순간적인 전구체의 기화능력인 MER을 기초로 해야 합니다. 그러나 MER Table을 완성하기 위해서는 개별 전구체의 고유 특성인 기화상수를 측정하여야만 합니다. ㈜지오엘리먼트는 고객의 요청에 따라서 고객이 제공한 전구체의 기화상수 측정 및 계산으로 작성되는 MER Table을 제공합니다. 자세한 설명 및 상담을 위하여 ㈜지오엘리먼트 기술영업담당자와 컨택을 하시기 바랍니다. (031-611-9123/webmaster.goelement.co.kr) |
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