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| 공정진단 지원 Process Diagnosis Consulting | |||||
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| 관리자 (IP: *.241.17.234) : 작성일 : 2017-11-21 14:24 조회수 : 22,507 | |||||
공정진단 지원 Process Diagnosis Consulting
양산을 위한 CVD/ALD의 공정을 진단하기 위하여 많은 노력을 하고 있습니다. 안정적인 CVD/ALD의 양산 공정을 위하여 전구체 기화공급시스템도 반드시 진단을 하여야 하며, 안정적인 공정을 확보하기 위하여 Canister의 온도, 전구체 온도, 전구체 기체 공급 배관계 온도, 각 배관의 액체 존재 여부, 현재 시점의 액체 전구체 액위 및 액위의 변화, 운반용 불활성 가스 및 기체 전구체의 실시간 유량 등 다양한 측정을 요구합니다. ㈜지오엘리먼트는 안정적이고 안전한 전구체 기화공급시스템의 운용을 위한 공정진단 솔루션을 고객의 요청에 의하여 상담과 설계를 통하여 제공합니다. 자세한 설명 및 상담을 위하여 ㈜지오엘리먼트 기술영업담당자와 컨택을 하시기 바랍니다. (031-611-9123/webmaster.goelement.co.kr) |
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