Degasser

액체 전구체를 강제로 기화시키는 기화기를 사용할 경우에는 기화기에 액체 전구체를 주입하기 위하여 캐니스터에 고맙의 불활성 기체를 주입하게 되며 이때 압력에 따라서 일부기체는 액체 전구체에 흡수 됩니다.

액체 전구체 흡수딘 불활성 기체는 LMFC (Liquid Mass Flow Meter) 내부에서 압력이 낮아지면서 기체로 불출되어 LMFC의 안정적인 이용을 방해합니다. 따라서 압력에 의하여 액체 전구체에 주입된 불활성 가스는 액체 전구체가 LMFC에 도달하기 전에 제거되어야만 합니다.

(주)지오엘리먼트는 액체 전구체에 녹아있는 불활성 가스의 제거를 위하여 디가서를 제공하고 있습니다. 많은 실험을 통하여 검증된 디가서는 표준화된 제품으로 고객의 사용목적에 맞게 밸브 매니폴드의 선택만으로 간단히 적용될 수 있습니다.

디가서의 채용이 필요할 경우에는 (주)지오엘리먼트의 기술영업 담장자와 충분한 상담을 하실 것을 추천합니다.