Thermostat

박막 증착을 위한 전구체 중에서 끊는점이 낮고 증기압이 높은 액체 전구체는 적절한 량의 전구체 기체를 공급하기 위하여 액체 전구체를 낮은 온도로 관리하여야 할 필요가 있으며 이러한 경우에 캐니스터를 냉각하기 위하여 캐니스터 전용 냉각기를 사용하여야 합니다.

그러나 대부분의 전구체는 화학적으로 불안정하며 수분과 격렬하게 반응하는 경우가 많기 때문에 물을 캐니스터 냉각용으로 사용하는 경우에는 매우 위험할 수 있습니다.

따라서 (주) 지오엘리먼트에는 안전을 확보하기 위하여 반도체 소자를 활용한 건식 냉각기를 캐니스터 냉각용 쿨러로 제공하고 있습니다.

캐니스터의 열관리는 기화속도에 직접적인 영향을 주기 때문에 (주)지오엘리먼트는 최적의 열전달 효과와 온도 분포도를 확포하기 위하여 개별 캐니스터의 디자인에 최적화된 건식 쿨러 디자인을 제안하고 있습니다.