Vaporizer

액체 전구체의 증가압이 높지 않은 경우나 반응기에서 공급되어야 할 기체 전구체의 량이 많은 경우에 원하는 량의 기체 전구체를 반응기에 공급하기 위해서는 기화기를 사용해야 합니다. 기회기는 액체 전구체를 분사하여 액적화함으로서 액체 전구체의 전체 표면적을 극대화시켜는 아토마이저와 액적에 열에어너지를 전달하여 기화를 돕는 가열 챔버로 구성 됩니다.

액체 전구체를 기화기를 통하여 강제로 기화시키는 방법은 매우 까다로우며 많은 신중한 검토가 필요합니다. (주)지오엘리먼트는 고객의 선정하여 제공하고 있습니다.

(주)지오엘리먼트는 기화 요구량과 전구체의 종류에 따라서 가장 적절한 공정환경을 확보하기 위하여 총 3종류의 기화를 제공하고 있으며 적절한 선택을 위하여 (주)지오엘리먼트의 기술영업 담당자와 충분한 상담을 하실 것을 추천합니다.